1 | Max.töörõhk 20,6 MPa. |
2 | Maxtöötemperatuur 204 ℃ (kõrge temperatuuriga keskkond kuni 454 ℃, sel ajal asendatakse tihendusmaterjal paisutatud grafiidiga) |
3 | Filtrisüsteem Kohaldatakse tahkete osakeste saasteaineid, gaase, vedelikke. |
4 | Roostevabast terasest pulbermetallurgia paagutatud filtrifiltri täpsus 2μm ~ 40μm |
5 | Filtri vooluhulk 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | Filtrit saab vahetada. |
Filtri tooteomadused
1 | Lai kasutusala, vooluvahemik 15 kuni 300 SL / min. |
2 | Sellel on hea ühilduvus enamiku kõrge puhtusastmega pooljuhtide protsessigaasidega. |
3 | 3 nanoosakeste filtreerimisvõime säilitab kõrge vooluefektiivsuse ja üliväikese rõhulanguse. |
4 | 5Ra elektropoleeritud pind võib vältida sisemist reostust. |
5 | Küpsetage kuuma lämmastikuga pärast deioniseeritud vett, et see vastaks pooljuhtprotsessi standarditele. |
6 | 1000 taseme tolmuvaba aseptilise töökoja tootmis-, puhastus- ja pakkimiskeskkond. |
7 | Testige 100% heeliumi leket. |
Sisselaskeava | Väljalaskeava | |
1 | 1/8″ toruliitmik | 1/8″ toruliitmik |
2 | 1/4″ toruliitmik | 1/4″ toruliitmik |
3 | 3/8″ toruliitmik | 3/8″ toruliitmik |
4 | 1/2″ toruliitmik | 1/2″ toruliitmik |
5 | 6 mm toruliitmik | 6 mm toruliitmik |
6 | 8 mm toruliitmik | 8 mm toruliitmik |
7 | 10 mm toruliitmik | 10 mm toruliitmik |
8 | 12 mm toruliitmik | 12 mm toruliitmik |
9 | 1/8" naissoost NPT | 1/8" naissoost NPT |
10 | 1/4-tolline naissoost tuumarelva leviku tõkestus | 1/4-tolline naissoost tuumarelva leviku tõkestus |
11 | 1/4" meessoost NPT | 1/4" meessoost NPT |
12 | 3/8" meessoost NPT | 3/8" meessoost NPT |
13 | 1/2" meessoost NPT | 1/2" meessoost NPT |
Filtri toote jõudlusparameetrid
1 | Filtreerimise täpsus | ≥0,0025 μm | |
2 | Filtreerimise efektiivsus | Eemaldamise kiirus99,99999%≥0,0025 μm | |
3 | Nimivool | 15L/min | |
4 | 60L/min | ||
5 | 120L/min | ||
6 | 200L/min | ||
7 | 300L/min | ||
8 | Filtri koostis | filtri element | 316L/PTFE |
9 | eluase | roostevaba teras 316L | |
10 | Töötingimused | Maksimaalne sisselaskerõhk | 21Mpa (310kgf/cm2) |
11 | Maksimaalne diferentsiaalrõhk | 15Mpa (153kgf/cm2) | |
12 | Maksimaalne töötemperatuur | 430 ℃ (inertgaas) | |
13 | Heeliumi lekke kiirus | 1×10-9 atm.cc/sek | |
14 | Pinnaviimistlus | ≤Ra 5μin |