Sabagaasi töötlemise seadmed saavad käsitseda gaase, mida kasutatakse söövitusprotsessides ja keemiliste aurude sadestumisprotsessides pooljuhis, vedelkristallides ja päikeseenergia tööstuses, sealhulgas SiH4, SiH2Cl2, Ph3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF6, SF6, C2F6, WF6, NH3, NH3
Heitgaasi töötlemise meetod
Vastavalt heitgaaside töötlemise omadustele võib ravi jagada nelja tüüpi ravimina:
1. veepesu tüüp (söövitavate gaaside töötlemine)
2.
3. adsorptsioon (vastavalt adsorptsiooni materjali tüübile vastava heitgaasiga toimetulemiseks).
4.plasma põlemis tüüp (igat tüüpi heitgaase saab töödelda).
Igal töötlemisel on oma plussid ja puudused, samuti rakenduse ulatus. Kui töötlemismeetod on veepesu, on seadmed odav ja lihtne ning saab hakkama ainult vees lahustuvate gaasidega; Elektriveepesu tüübi rakendusvahemik on suurem kui veepesu tüübil, kuid töökulu on kõrge; Kuiva tüübiga on hea töötlemise efektiivsus ja see ei ole rakendatav gaasivoolu jaoks, mida on lihtne ummistada või voolata.
Kemikaale ja nende kõrvalsaadusi, mida tavaliselt pooljuhtide tööstuses kasutatakse, saab liigitada vastavalt nende keemilistele omadustele ja erinevatele vahemikele:
1. tuleohtlikud gaasid nagu SiH4H2 jne.
2. Toksilised gaasid nagu ASH3, PH3 jne.
3. söövitavad gaasid nagu HF, HCL jne.
4. kasvuhoonegaasid nagu CF4, NF3 jne.
Kuna ülaltoodud neli gaasi on keskkonnale või inimkehale kahjulikud, peavad selle otsese atmosfääri emissiooni vältima, seega paigaldatakse üldine pooljuhtide taim suure tsentraliseeritud heitgaaside töötlemissüsteemiga, kuid see süsteem on ainult vesipuhastuslahendus, nii et selle kasutamine piirdub pikamaa-vees lahustuvate veega gaasidega ning ei saa semicuct-i aina suunduvat ja peenet divisjoniga tegeleda. Seetõttu on vaja valida ja sobitada vastavad heitgaaside töötlemisseadmed vastavalt igast protsessist saadud gaasi karakteristikutele, et lahendada heitgaaside probleem väikesel viisil. Kuna tööpiirkond on enamasti eemal kesksest heitgaaside töötlemissüsteemist, põhjustab sageli gaasi omaduste tõttu torustikku kristalliseerumist või tolmu kogunemist, mille tulemuseks on gaasi leke, mis põhjustab gaasi lekkeid, ja tõsistel juhtudel isegi plahvatust, ei saa tagada saidi töötajate tööohutuse. Seetõttu tuleb tööpiirkonnas konfigureerida väikese heitgaaside töötlemisseadmed, mis sobivad protsessigaasi omadustele, et vähendada tööpiirkonnas seisvat heitgaasi, et tagada personali ohutus.
Postiaeg: 10. august 20123