Aitame maailma kasvada alates 1983. aastast

Kõrgpuhustusega gaasitorustide rakendusvaldkonnad

图 1

Projekt hõlmab kõrgtehnoloogilisi tööstusi nagu pooljuhid, integreeritud vooluringid, lameekraanid, optoelektroonika, autod, uus energia, nano, kiudoptika, mikroelektroonika, nahkhiirte, biomeditsiin, erinevad laborid, uurimisinstituudid ja standardsed testimised jne.

 

Suure puhtusega gaasitorustiku tehnoloogia

 

  Kõrge puhtusega gaasitorustiku tehnoloogia on oluline osa kõrge puhtusega gaasivarustussüsteemist ja see on oluline tehnoloogia kõrge puhtusega gaaside tarnimiseks vajalikule tarnepunktile. Niinimetatud kõrge puhtusarjagaasi torustiku tehnoloogia sisaldab süsteemi õiget disaini, liitmike ja lisaseadmete valimist, ehitust ja paigaldamist, testimist ja…

 

  Üldiste gaaside tüübid

 

  General gases are categorized in the general gas electronics industry as:General gases, also known as bulk gases:Hydrogen (H2), Nitrogen (N2), Oxygen (O2), Argon (A2) and other special gases (Specialty gases) Mainly Silicon Tetrachloride, Hydrogen Boride, Boron Hexafluoride, Boron Hexafluoride, Boron Hexafluoriid, booron heksafluoriid, boori heksafluoriid, boori heksafluoriid, boron heksafluoriid, boron heksafluoriid, boron heksafluoriid, boron heksafluoriid, boroon heksafluoriid ja boron. jne. Spetsiaalsete gaaside tüübid liigitatakse tavaliselt söövitavaks, toksiliseks, tuleohtlikuks, tuleohtlikuks, inertseks jne.

 

  Üldised pooljuhtide gaasid liigitatakse järgmiselt

 

  (1) söövitav/toksiline: vesinikkloriidhape, BF3, WF6, HBR, ränidioksiid, NH3, PH3, CL2, BCL 3 jne.

 

  (ii) tuleohtlikkus3336H2, CH4, SiH4, PH3, ASH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO. Ja nii edasi.

 

  (3) Tuleohtlikkus: O2, Cl2, N2O, NF3… jne.

 

  (4) Pooljuhi gaasid, näiteks üllad gaasid: CF4, C2F6, C4F8, CO2, Neon, Krypton, Heelium…. Inimkehale kahjulik.

 

  Eelkõige on mõnel gaasil, näiteks SiH4 -l, spontaanse põlemise omadus. Kui leke toimub, reageerib see vägivaldselt õhus sisalduva hapnikuga ja hakkab põletama.ash3 on ka toksiline. Väiksemad lekked võivad kahjustada inimeste elu. Nende ilmsete ohtude tõttu on süsteemi kujundamise ohutusnõuded eriti kõrged.

 

  Elektroonilised spetsiaalsed gaasitorustikusüsteemid

 


Postiaeg: APR-07-2024