Gaaside kasutamine pooljuhtide tööstuses pärineb 1950. aastate algusest kuni 1960. aastate algusest. Pooljuhtide tootmisprotsessi ajal kasutatakse gaase peamiselt pooljuhtmaterjalide puhastamiseks ja kaitsmiseks, et tagada nende puhtus ja kvaliteet. Kõige sagedamini kasutatavate gaaside hulgas on lämmastik ja vesinik.
Kuna pooljuhtide tehnoloogia arenes ja tootmisprotsessid jätkuvalt paranevad, suurenes nõudlus gaaside järele. 1970. aastal, pooljuhtide tootmistehnoloogia edasine arendamine, gaaside kasutamine peamistes protsessides nagu õhukeste kilede söövitamine ja sadestumine järk -järgult ning fluoriidigaasid (nt SF6) ja hapnikku kasutati tavaliselt söövitamis- ja sadestumisgaase. 1980. aastal suurenes integreeritud vooluahelate ja nende nõudluse suurenemisega gaaside nõudlus veelgi. Vesinikku kasutati laialdaselt tootmisprotsessis, sealhulgas vesiniku lõõmutamine ja vesiniku aurude sadestumine. Ja alates 1990. aastast kuni tänapäevani on nõudlus kõrge puhtusastmega gaaside ja spetsiifiliste gaaside järele suurenenud, kuna pooljuhtide suurus on jätkuvalt kahanenud ja on kasutusele võetud uued protsessid. Näiteks nõuab äärmusliku ultraviolettkiirguse (EUV) kasutamine eriti kõrge puhtusarjaga gaaside, näiteks lämmastiku ja vesiniku kasutamist.
Pooljuhtide gaas suureneb jätkuvalt üha rohkem toodete ajendatud toodete väljatöötamisega, samas kui gaas kuulub ka ohuallikale, seega on tekkinud gaasi dekompressiooniks kasutatavad tooted ja gaasi lekketooted, näiteks rõhuregulaatorid, gaasiventiilid, gaasiklapid, gaasi lekete detektor jne ning nende rollid on järgmised.
Rõhuregulaatorid: Rõhuregulaatorid on seadmed, mida kasutatakse gaasirõhu juhtimiseks. Tavaliselt koosnevad need regulaatori klapist ja rõhuandurist. Rõhuregulaatorid võtavad kõrgsurvegaasi sisendi ja stabiliseerivad väljundgaasi rõhku, reguleerides klapi vastavalt konkreetsetele rakendusnõuetele. Surveregulaatoreid kasutatakse laialdaselt sellistes valdkondades nagu tööstus, tootmine ja laborid, samuti pooljuhtide tööstuses, et tagada gaasivarustuse stabiilsus ja ohutus.
Gaasiklapid: gaasiklapid kasutatakse gaaside voolu ja gaasi käigude sulgemiseks. Neil on tavaliselt sisse- ja väljalülitusfunktsioon, mis avab või sulgeb gaasi voolu. Seal on erinevat tüüpi gaasiklappe, sealhulgas käsitsi ventiilid, elektrisklapid ja pneumaatilised ventiilid. Neid kasutatakse gaasisüsteemides laialdaselt gaaside voo, rõhu ja voolukiiruse juhtimiseks.
Gaasirõhu gabariidid: gaasi rõhutaseme mõõtmiseks kasutatakse gaasi rõhku. Tavaliselt paigaldatakse need gaasisüsteemide kriitilistesse kohtadesse, et jälgida rõhu muutusi ja tagada, et need jäävad ohutute piiride piires. Gaasisurvemõõtureid kasutatakse laialdaselt tööstuses, tootmises ja laborites ning sellega on kaasatud ka pooljuhtide tööstus.
Gaasilekke detektorid: gaasi lekke detektoreid kasutatakse lekete tuvastamiseks gaasisüsteemides. Nad tuvastavadGaasilekke olemasolu ja helisisaldus, nii et lekkeõnnetuste vältimiseks saab õigeaegse tegutsemise. Gaasilekke detektoreid kasutatakse laialdaselt tööstus-, keemia-, nafta- ja gaasirakendustes ning ka pooljuhtide tööstus on kaasatud.
Postiaeg: 20. veebruar-20124