Pooljuhtide tööstuse õitseva arenguga on selle toetavate projektide jaoks esitatud kõrgemad nõuded. Spetsiaalsete gaaside pakkumine ei ole moodustanud tõhusat süsteemi ning räpaste silindrite, kaootilise majandamise ja kokkusobimatute gaaside segamise probleemid on tõsisemad, mis mõjutab suuresti gaasi tarbimise ohutust. Niisiis, kuidas tegeleda gaasi sabagaasiga spetsiaalses gaasitorustikus? Täna on Shenzhen Wofei Technology Co töötajad:
Spetsiaalne gaasi sabagaasi töötlemine
Spetsiaalsed tervise- ja keskkonnagaasid tekitavad suurt kahju, kuidas toime tulla spetsiaalse gaasi sabagaasiga, milliste seadmetega on siin põhjalik sissejuhatus.
Spetsiaalsete gaasi sabagaaside staatus
Sabagaas eksisteerib paratamatult spetsiaalse gaasisüsteemi tuletisena. Varem ei ole paljudes kolledžites ja ülikoolides laboratoorse gaasi tarbimise tõttu suur, ehitusüksuse omanik ei ole täielikult teadlik sabagaasi heitkoguste probleemist, kusjuures rohkem pooljuhtide tehaseid, mis on suuremad, spetsiaalse gaasi sabagaasi heitkoguste tootmine. Siis, kuidas tühjendada, kuidas tühjendada, on paljude kasutajate ees probleemiks saanud.
Spetsiaalse gaasisüsteemi saba gaasi heitkoguste töötlemismeetod:
Sabagaasi töötlemisseadme tüüp tuleks valida vastavalt töödeldava heitgaaside spetsiaalse gaasi omadustele ja kokkusobimatud spetsiaalsed gaasid tuleks eraldi seadistada sabagaasi töötlemisseade;
Sabagaasi töötlemisseade tuleks paigutada GR, GC ja muude spetsiaalsete gaasiseadmete lähedale.
Spetsiaalsete gaaside sabagaaside töötlemise meetod peab kasutama kuiva ravi adsorptsiooni, niiske puhastamist, kuumutamise lagunemist, põlemisravi, plasma lagunemisravi, lahjendusravi ja ülaltoodud meetodite kombinatsiooni.
Postiaeg: 14. mai