Ülimalt kõrge puhtusgaasid on kogu pooljuhtide tarneahelas hädavajalikud. Tegelikult on tüüpilise FAB-i jaoks kõrge puhtusarja gaasid suurimad materjali kulud pärast räni ise. Pärast globaalse kiibipuuduse järel laieneb tööstus kiiremini kui kunagi varem - suureneb nõudlus kõrge puhtusega gaaside järele.
Pooljuhtide tootmisel kõige sagedamini kasutatavad puistegaasid on lämmastik, heelium, vesinik ja argoon.
Nitrogeen
Lämmastik moodustab 78% meie atmosfäärist ja on äärmiselt rikkalik. Samuti juhtub see olema keemiliselt inertne ja mittejuhtiv. Selle tulemusel on lämmastik leidnud tee paljudesse tööstusharudesse kulutõhusa inertse gaasina.
Pooljuhtide tööstus on lämmastiku peamine tarbija. Kaasaegne pooljuhtide tootmisettevõte kasutab eeldatavasti kuni 50 000 kuupmeetrit lämmastikku tunnis. Pooljuhtide tootmisel toimib lämmastik üldotstarbelise gaasi inertreeningu ja puhastamise korral, kaitstes tundlikke ränivahvleid õhus oleva reaktiivse hapniku ja niiskuse eest.
Heelium
Heelium on inertne gaas. See tähendab, et nagu lämmastik, on ka heelium keemiliselt inertne -, kuid sellel on ka kõrge soojusjuhtivuse eelis. See on eriti kasulik pooljuhtide tootmisel, võimaldades sellel tõhusalt soojust suure energiatarbega protsessidest eemale ja aidata neid kaitsta termiliste kahjustuste ja soovimatute keemiliste reaktsioonide eest.
Vesinik
Vesinikku kasutatakse ulatuslikult kogu elektroonika tootmisprotsessis ja pooljuhtide tootmine pole erand. Eelkõige kasutatakse vesinikku:
Lõõmutamine: Räni vahvleid kuumutatakse tavaliselt kõrgete temperatuurideni ja jahutatakse aeglaselt kristallstruktuuri parandamiseks (lõõmutamiseks). Vesinikku kasutatakse soojuse ühtlaseks ülekandmiseks vahvlile ja aitamiseks kristallstruktuuri taastamisel.
Epitaksia: ülikõrge puhtus vesinikku kasutatakse redutseeriva ainena pooljuhtide materjalide, näiteks räni ja germaaniumi epitaksiaalses sadestumises.
Sadestumine: vesinikku saab leotada ränikiledeks, et muuta nende aatomstruktuur korratumaks, aidates suurendada vastupidavust.
Plasma puhastamine: vesiniku plasma on eriti efektiivne tina saastumise eemaldamisel ultraviolettvalgustuses kasutatavatest valgusallikatest.
Argoon
Argoon on veel üks üllas gaas, nii et sellel on sama madal reaktsioonivõime kui lämmastik ja heelium. Argooni madal ionisatsioonienergia muudab selle siiski pooljuhtide rakendustes kasulikuks. Ionisatsiooni suhtelise lihtsuse tõttu kasutatakse argooni tavaliselt primaarse plasmagaasina söövitamiseks ja sadestumisreaktsioonidena pooljuhtide tootmisel. Lisaks sellele kasutatakse argooni ka eksimeeride laserites UV -litograafia jaoks.
Miks puhtus on oluline
Tavaliselt on pooljuhtide tehnoloogia edusamme saavutatud suuruse skaleerimise kaudu ja uue põlvkonna pooljuhtide tehnoloogia iseloomustavad väiksemad funktsioonide suurused. See annab mitmeid eeliseid: rohkem transistoreid antud mahus, paranenud voolud, väiksem energiatarve ja kiirem lülitumine.
Kuna kriitiline suurus väheneb, muutuvad pooljuhtide seadmed üha keerukamaks. Maailmas, kus on oluline üksikute aatomite positsioon, on rikete tolerantsi läved väga tihedad. Selle tulemusel nõuavad kaasaegsed pooljuhtide protsessid protsessi gaase, millel on suurim võimalik puhtus.
Wofly on kõrgtehnoloogiaettevõte, mis on spetsialiseerunud gaasirakendussüsteemi insenerile: elektrooniline spetsiaalne gaasisüsteem, laboratoorsed gaasi vooluahelate süsteem, tööstuslik tsentraliseeritud gaasivarustussüsteem, puhuse gaasi (vedel) süsteem, kõrge puhtusgaaside ja spetsiaalne protsess gaasi sekundaarse torustiku süsteem, keemilise tarnimise süsteem, puhas veesüsteem, et pakkuda täielikke tehnilisi teenuseid ja tehnilisi tooteid, mis on vajalik, mis on mõeldud, eelnevast, eelnevast, eelnevast valitud, eelnevast, eelnevast komplektist, eelnevast seadmest, eelnevast, eelnevast süsteemist, mis on ette nähtud. Süsteemi üldtestimine, hooldus ja muud tugitooted integreeritud viisil.
Postiaeg: 11. juuli 20123