Pooljuhtide turgu kasvades muutuvad puhtuse ja täpsuse standardid rangemaks. Üks pooljuhtide tootmise kvaliteedi määravaid tegureid on protsessis kasutatud gaasid. Need gaasid mängivad tootmisprotsessis palju rolle, sealhulgas::
Täpse protsessi kontroll
Saaste ennetamine
Metallurgiline vara suurendamine
Nende rollide tõhusaks täitmiseks peavad gaasi pakkumise ja jaotussüsteem olema tõhusad. Pooljuhtide tootmisel kasutatavate gaasi käitlemissüsteemide kavandamist peavad toetama tugevad komponendid ja kohandatud koostud, et tagada pooljuhtide usaldusväärne ja kvaliteetne tootmine.
Pooljuhtide tootmisel kasutatavad gaasid
Pooljuhtide tootmisprotsess nõuab erinevate gaaside kasutamist protsessi erinevatel etappidel.
Kuigi tavalisi gaase nagu lämmastik, vesinikku, argooni ja heeliumi saab kasutada puhtal kujul, võivad teatud protsessid vajada spetsiaalseid segusid. Silanid või siloksaanid, heksafluoriidid, halogeerid ja süsivesinikud on mõned pooljuhtide tootmisel kasutatud spetsiaalsetest gaasidest. Paljud neist gaasidest võivad olla ohtlikud või väga reageerivad, luues väljakutseid gaasisüsteemide komponentide valimisel ja kujundamisel.
Siin on mõned näited:
\ Vesinik ja heelium võivad nende väikese aatomi suuruse ja kaalu tõttu hõlpsalt lekkida torustiku ja liitmissüsteemidest.
\ Silaanid on väga tuleohtlikud ja võivad õhus spontaanselt põleda (autogignite).
\ Lämmastiku difluoriid, mida kasutatakse sadestuses, söövitus- ja kambri puhastamise etapis, muutub keskkonda lekkimisel tugevaks kasvuhoonegaasis.
\ Vesinikfluoriiid (söövitusgaas) on metalli torustiku suhtes väga söövitav.
\ Trimetüülgallium ja ammoniaak võib olla keeruline käsitleda - temperatuuri ja rõhuvajaduse väikesed kõikumised võivad mõjutada ladestumisprotsessi.
Protsessitingimuste kontrollimine nende gaaside negatiivsete mõjude minimeerimiseks peab olema süsteemi kujundamise ajal esmatähtis. Sama oluline on kasutada ehitamise ajal kõrgeima kvaliteediga komponente, näiteks AFK diafragmaventiile.
Süsteemi kujundamise väljakutsetega tegelemine
Pooljuhtide klassi gaasid on enamikul puhtuse korral ja pakuvad inerttingimusi või suurendavad reaktsioone tootmisprotsessi erinevatel etappidel, näiteks ELTCH ja sadestusgaasid. Selliste gaaside leke või saastumine võib avaldada negatiivset mõju. Seetõttu on see süsteemi komponentide jaoks kriitilise tähtsusega hermeetiliselt pitseeritud ja korrosioonikindlad, samuti sileda pinnaviimistluse (elektrolüütilise poleerimine), et tagada saastumise võimalus ja et saaks säilitada äärmiselt kõrge puhtuse.
Lisaks saab mõnda neist gaasidest soojendada või jahutada, et saavutada soovitud protsessitingimusi. Hästi isoleeritud komponendid tagavad temperatuuri juhtimise, mis on lõpptoote tõhusaks jõudluseks kriitilise tähtsusega.
Allika sisselaskeavast kuni kasutuspunktini toetab AFK lai komponentide valik pooljuhtide puhaskambrites ja vaakumkambrites vajalikku ülikõrge puhtuse, temperatuuri, rõhu ja voolu juhtimist.
Kujundatud süsteemid, millel on kvaliteedikomponendid pooljuhtide Fabs
Kvaliteedi komponentide roll ja disaini optimeerimine on kriitilise tähtsusega pooljuhtide täpse kontrolli ja ohutu tootmise jaoks. Kasutatavad komponendid peavad olema vastupidavad ja lekkevabad, et see vastaks erinevatele protsessitingimustele erinevates tootmisetappides.AFK kõrgekvaliteedilised ventiilid, liitmikud, regulaatorid, torustikud ja tihendusklambrid iseloomustavad järgmised omadused:
Ülikõrge puhtus
Lekkevabad tihendid
Temperatuuriga kontrollitud isolatsioon
Rõhukontroll
Korrosioonikindlus
Elektrolüütiline poleerimisravi
Postiaeg: oktoober-09.-20123