Elektrooniliste spetsiaalsete gaaside tootmisprotsess hõlmab mitmeid protsesse, näiteks süntees, puhastamine, täitmine, analüüs ja testimine, segamine ja proportsioon. Puhtuse ja lisandite sisalduse allavoolu pooljuhtide tootmisnõuete täitmiseks on puhastusprotsess väga oluline. Sõltuvalt ülesvoolu sünteesi gaasi või toorgaasi koostisest viiakse läbi madala temperatuuri destilleerimine või mitmeastmeline puhastamine.
Kõrge puhtuse nõuded
Elektrooniliste spetsiaalsete gaaside ettevalmistamise protsessi võib jagada kaheks peamiseks sünteesi ettevalmistamise ja puhastamise peamiseks plokiks, mis kuulub keemilisse tootmisprotsessi. Tootmisjuhe suurus on suur ja erilist puhtuse taseme nõuet pole. Pärast allavoolu puhastamist täidetakse toode gaasiga ja segatakse ettevalmistamiseks. Tootmisjuht on väike ja sellel on puhtuse taseme nõuded. See peab vastama pooljuhtide tootmisprotsessi standardsele spetsifikatsioonile.
Kõrge tihendamise nõuded
Keemilise aktiivsuse tõttu seavad elektroonilised spetsiaalsed gaasid ka tootmisprotsessisüsteemi materjalidele ja tihendamisele suuri nõudmisi. Nii nagu pooljuhtide tootmise nõuded, hoiab see ära liidese lekke, mis on põhjustatud spetsiaalsete gaaside lisandite kehtestamisest või korrosioonist. Süsteemi saab kasutada ka eriliste gaaside korrosiooni põhjustatud lisandite või liidese lekke vältimiseks.
Kõrge kvaliteediga stabiilsusnõuded
Elektrooniliste spetsiaalsete gaaside kvaliteet sisaldab mitmeid näitajaid, näiteks puhtuse ja lisandi osakeste sisaldus. Näitajate mis tahes muutused mõjutavad allavoolu pooljuhtide tootmisprotsessi tulemusi. Seetõttu on väga oluline ka elektrooniliste spetsiaalsete gaasiproduktide näitajate järjepidevuse tagamiseks ka indikaatorite stabiilsuse kontrollimiseks ettevalmistamise protsessisüsteem.
EGP keemilise aktiivsuse ja kvaliteedinõuete tõttu peab EGP ettevalmistamise tootmissüsteem, eriti allavoolu puhastussüsteem, vastama kõrge puhtuse materjali, kõrge tihendamise, kõrge puhtuse ja kõrge kvaliteediga konsistentsi nõuetele ning konstrueeritud komponentide ehitamine peab vastama pooljuhttööstuse standarditele.
See, mida me tavaliselt nimetame kõrgeks puhtuseks ”, on teoreetiliselt aine puhtuse määratlus, näiteks kõrge puhtusega gaasid, kõrge puhtus kemikaalid jne. Protsessisüsteemid või protsessisüsteemi komponendid, mida rakendatakse kõrge puhtusainete jaoks, nimetatakse samuti kõrge puhtusarjaga, näiteks kõrge puhtusastmega süsteemiks ja kõrge puhtusastmega. Elektroonilised spetsiaalsed gaasi ettevalmistamise süsteemid vajavad kõrge puhtuse pealekandmist, klappe ja muid vedelikukomponente, IE, liitmikke ja ventiile, mida töödeldakse kõrge puhtusega materjalide ja puhaste tootmisprotsessidega ning mis on üles ehitatud hõlpsaks puhastamiseks ja puhastamiseks. Kõrge tihenemise jõudlusega. Need vedeliku komponendid on loodud vastama rakenduse protsesside vooluteele, kasutades pooljuhtide tööstuse inseneri- ja ehitusnõudeid.
Suure puhtusega torustiku ühendused
VCR -metalli tihendi näo tihendi ühendusi ja automaatseid juhendatavaid keevisõmbluse ühendusi kasutatakse laialdaselt vedelikusüsteemi puhtuse protsessi nõuetes laialdaselt, kuna suudab täita ühenduse nii voolutee sujuvat üleminekut, ilma stagnatsioonitsooni ja kõrge tihendamise jõudlusega.VCR -i ühendused. Korduv ja järjepidev ühendus ja tihendus jõudlus on iga kord, kui deformeerunud tihend eemaldatakse ja vahetatakse.
Torud keevitatakse automaatse orbitaalkeevitussüsteemi abil. Toru on kaitstud kõrge puhtusega gaasiga seest ja väljast. Volframielektrood pöörleb piki orbiidi kvaliteetse keevituse saamiseks. Täielikult automatiseeritud orbitaalkeevitamine sulatab toru ilma muid materjale toomata, et kvaliteetset keevisõmblust on õhukese seinaga toru korduvalt kontrollides keeruline käsitsi keevitada.
VCR metalli tihend näo tihendi ühendus
Orbitaalse tagumiku automaatne torude keevitamise ühendus
Kõrge puhtusventiilid
Tuleohtlike, plahvatusohtlike, söövitava ja toksilise elektroonilise spetsiaalse gaaside keemiline aktiivsus seab klapi tihendamiseks suured nõudmised. Tihendamise usaldusväärsuse parandamiseks on vaja pakkimata ventiilide nõue välise lekke vältimiseks, see tähendab klapi varre ja klapi kere vahelise tööga metallist lõhn või metallist diafragma abil, et kõrvaldada lekked hõõrdumise ja pakkimise deformatsiooni tõttu. Lõõtsaga suletud ja diafragmaga suletud ventiile kasutatakse protsessisüsteemides tavaliselt kõrge puhtusarjade jaoks, kuna tihendiga on tihedamat usaldusväärsust ning ventiili sisemiste sisemiste puhastamist ja puhastamist.
Lööbiklapid on pakkimata nõelventiilide konstruktsioon, mis võimaldab aeglast ava- ja voolu reguleerimist. Kasutatakse elektrooniliseks spetsiaalse gaasi täitmiseks, millel on ohutusvoo nõuded või kõrge ohutusnõuetega eelkäijaallika pudelitel. Kõigi metalli varre otsa tihendid võimaldavad eriti madalat töötemperatuuri ja neid kasutatakse valmistoodete mahutites elektrooniliste spetsiaalsete gaaside krüogeenseks vedeldamiseks pärast torustiku krüogeenset destilleerimist.
Vedruta diafragma tihendklapp on 1/4 ″ SNAP-Open klapp, mida kasutatakse automaatselt juhitava lülitusventiilina kohaletoimetamise torustikus. Neid kasutatakse tavaliselt ülikõrge ja kõrge puhtusastmega rakendustes nende lihtsa sisemise voolutee, väikese sisemise mahu ning puhastamise ja asendamise lihtsuse tõttu.
Varreotsa kaudu sulguvad diafragma-suletud ventiilid võivad aeglaselt avaneda ja neid kasutatakse suurema töörõhu korral kui mittesüübis olevad diafragmaga suletud ventiilid. Neid kasutatakse laialdaselt kõrgsurve elektrooniliste spetsiaalsete gaasi täitmise või lähteallika pudelite korral.
Sekundaarse tihendi lõõtsaklapi ei saa mitte ainult ultra -madala temperatuuriprotsessisüsteemides -200 kraadi juures kasutada, vaid hoiab ära ka ohtlike söötmete lekke atmosfääri. Tavaliselt kasutatakse väga ohtlike elektrooniliste spetsiaalsete gaaside, näiteks silaani täitmissüsteemi jaoks.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, kellel on üle 10-aastane kogemus tööstus- ja spetsiaalsete gaaside, materjalide, gaasitarvete süsteemide ja gaasitehnika tarnimisel pooljuhtide, LED, DRAM, TFT-LCD turgude jaoks, saame teile pakkuda vajalikke materjale, et suruda oma tooteid tööstuse esirinnas. Me ei saa mitte ainult tarnida mitmesuguseid klappe ja liitmikke pooljuhtide elektrooniliste spetsiaalsete gaaside jaoks, vaid saame ka oma klientidele kavandada gaasi torustikku ja seadmete paigaldamist. Kui teil on selles valdkonnas vajadusi, võtke meiega ühendust telefonil 27919860.
Postiaeg: 19. juuli-20123