Kõrge puhtusastmega gaasitorustike tehnoloogia on kõrge puhtusastmega gaasivarustussüsteemi oluline osa, mis on võtmetehnoloogia vajaliku kõrge puhtusastmega gaasi tarnimiseks kasutuskohta ja kvalifitseeritud kvaliteedi säilitamiseks;Kõrge puhtusastmega gaasitorustike tehnoloogia hõlmab süsteemi õiget projekteerimist, liitmike ja tarvikute valikut, ehitamist ja paigaldust ning testimist.Viimastel aastatel järjest karmistuvad nõuded kõrge puhtusastmega gaaside puhtuse ja lisandite sisaldusele mikroelektroonikatoodete tootmisel, mida esindavad suuremahulised integraallülitused, on muutnud kõrge puhtusastmega gaaside torustike tehnoloogiat üha enam murelikuks ja rõhutanud.Järgnevalt on materjalivalikust antud lühiülevaade kõrge puhtusastmega gaasitorustikustof ehitus, samuti vastuvõtt ja igapäevane juhtimine.
Levinud gaaside tüübid
Elektroonikatööstuses levinud gaaside klassifikatsioon:
Tavalised gaasid(Puistegaas）: vesinik (H2), lämmastik (N2), hapnik (O2), argoon (A2), jne.
Spetsiaalsed gaasidon SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… jne.
Spetsiaalseid gaase võib üldiselt klassifitseerida söövitavateksgaas, mürginegaas, tuleohtlikgaas, põlevgaas, inertnegaasjne. Tavaliselt kasutatavad pooljuhtgaasid liigitatakse üldiselt järgmiselt.
i) Söövitav/toksilinegaas: HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…jne.
(ii) Tuleohtlikkusgaas: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO jne.
iii) süttivusgaas: O2, Cl2, N2O, NF3… jne.
(iv) Inertnegaas: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, Ta… jne.
Paljud pooljuhtgaasid on inimkehale kahjulikud.Eelkõige mõned neist gaasidest, näiteks SiH4 isesüttimine, kuni leke reageerib ägedalt õhuhapnikuga ja hakkab põlema;ja AsH3väga mürgine, iga väike leke võib põhjustada inimelu ohtu, see on nende ilmsete ohtude tõttu, mistõttu on süsteemi konstruktsiooni ohutuse nõuded eriti kõrged.
Gaaside kasutusala
Kaasaegse tööstuse olulise põhitoormena kasutatakse laialdaselt gaasitooteid ning suurt hulka tavagaase või erigaase kasutatakse metallurgias, terase-, nafta-, keemiatööstuses, masinates, elektroonikas, klaasis, keraamikas, ehitusmaterjalides, ehituses. , toiduainete töötlemise, meditsiini ja meditsiini sektorid.Gaasi kasutamisel on oluline mõju eelkõige nende väljade kõrgtehnoloogiale ning see on selle asendamatu toorainegaas või protsessigaas.Ainult erinevate uute tööstussektorite ning kaasaegse teaduse ja tehnoloogia vajaduste ja edendamisega saab gaasitööstuse tooteid arendada hüppeliselt nii mitmekesisuse, kvaliteedi kui ka kvantiteedi osas.
Gaasi kasutamine mikroelektroonikas ja pooljuhtide tööstuses
Gaasi kasutamine on pooljuhtprotsessides alati mänginud olulist rolli, eriti pooljuhtprotsessi on laialdaselt kasutatud erinevates tööstusharudes, alates traditsioonilisest ULSI-st, TFT-LCD-st kuni praeguse mikroelektro-mehaanika (MEMS) tööstuseni. mis kasutavad toodete valmistamise protsessina nn pooljuhtprotsessi.Gaasi puhtus mõjutab otsustavalt komponentide töövõimet ja toote tootlikkust ning gaasivarustuse ohutus on seotud personali tervise ja tehase tööohutusega.
Kõrge puhtusastmega torustiku tähtsus kõrge puhtusastmega gaasitranspordis
Roostevaba terase sulatamise ja materjali valmistamise protsessis saab tonni kohta absorbeerida umbes 200 g gaasi.Pärast roostevaba terase töötlemist ei imanud mitte ainult selle erinevate saasteainetega kleepuv pind, vaid ka metallvõres teatud kogus gaasi.Kui torujuhtme kaudu on õhuvool, neelab metall selle osa gaasist, mis siseneb uuesti õhuvoolu, saastades puhast gaasi.Kui õhuvool torus on katkendlik vool, adsorbeerib toru rõhu all oleva gaasi ja kui õhuvool lakkab liikumast, moodustab torus adsorbeeritud gaas lahustumiseks rõhulanguse ja lahustatud gaas siseneb ka torus olevasse puhtasse gaasi. lisanditena.Samal ajal kordub adsorptsioon ja eraldusvõime, nii et toru sisepinnal olev metall toodab ka teatud koguse pulbrit ja need metallitolmu osakesed saastavad ka toru sees olevat puhast gaasi.See toru omadus on oluline transporditava gaasi puhtuse tagamiseks, mis eeldab mitte ainult toru sisepinna väga suurt siledust, vaid ka suurt kulumiskindlust.
Tugeva korrodeeriva toimega gaasi kasutamisel tuleb torustike jaoks kasutada korrosioonikindlaid roostevabast terasest torusid.Vastasel juhul tekivad toru sisepinnale korrosiooni tõttu korrosioonilaigud ning tõsistel juhtudel tekib suur metallide eemaldamise või isegi perforatsiooni ala, mis saastab jaotatava puhta gaasi.
Kõrge puhtusastmega ja kõrge puhtusastmega gaasi ülekande- ja jaotustorustike ühendamine suure vooluhulgaga.
Põhimõtteliselt on need kõik keevitatud ja kasutatavate torude struktuur ei pea keevitamise ajal muutuma.Liiga kõrge süsinikusisaldusega materjalid on keevitamisel allutatud keevitatud detailide õhu läbilaskvusele, mis põhjustab gaaside vastastikuse tungimise toru sees ja väljaspool ning hävitab edasikantava gaasi puhtuse, kuivuse ja puhtuse, mille tulemuseks on gaasi kadu. kõik meie jõupingutused.
Kokkuvõtteks võib öelda, et kõrge puhtusastmega gaasi ja spetsiaalse gaasi ülekandetorustiku jaoks on vaja kasutada kõrge puhtusastmega roostevabast terasest torude eritöötlust, et valmistada kõrge puhtusastmega torusüsteem (sh torud, liitmikud, ventiilid, VMB, VMP) kõrge puhtusastmega gaasijaotusel on oluline ülesanne.
Ülekande- ja jaotustorustike puhta tehnoloogia üldkontseptsioon
Väga puhas ja puhas gaasikorpuse ülekanne koos torustikuga tähendab, et transporditava gaasi kolmele aspektile kehtivad teatud nõuded või juhtelemendid.
Gaasi puhtus: lisandiatmosfääri sisaldus gaasis Gaasi puhtus: lisandite atmosfääri sisaldus gaasis, väljendatuna tavaliselt gaasi puhtuse protsendina, näiteks 99,9999%, mida väljendatakse ka lisandi atmosfääri sisalduse mahu suhtena ppm, ppb, ppt.
Kuivus: jälgniiskuse kogus gaasis või kogus, mida nimetatakse märjaks, väljendatuna tavaliselt kastepunktina, näiteks atmosfäärirõhu kastepunkt -70.C.
Puhtus: gaasis sisalduvate saasteosakeste arv, osakeste suurus µm, kui palju osakesi/M3 väljendada, suruõhu puhul, tavaliselt väljendatakse ka kui palju mg/m3 vältimatuid tahkeid jääke, mis katab õlisisalduse .
Saasteainete suuruse klassifikatsioon: saasteainete osakesed, viitab peamiselt torujuhtme hõõrdumisele, kulumisele, metalliosakeste, atmosfääri tahmaosakeste, aga ka mikroorganismide, faagide ja niiskust sisaldavate gaasikondensatsioonipiiskade jms tekitatud korrosioonile vastavalt selle osakeste suurusele. jaguneb
a) Suured osakesed – osakeste suurus üle 5 μm
b) Osake – materjali läbimõõt vahemikus 0,1μm-5μm
c) Ultra-mikroosakesed – osakeste suurus alla 0,1 μm.
Selle tehnoloogia rakendamise tõhustamiseks, osakeste suuruse ja μm ühikute tajumiseks on võrdluseks esitatud osakeste konkreetse oleku kogum
Järgnevalt on toodud konkreetsete osakeste võrdlus
| Nimi/osakeste suurus (µm) | Nimi/osakeste suurus (µm) | Nimi/osakeste suurus (µm) |
| Viirus 0,003-0,0 | Aerosool 0,03-1 | Aerosoolitud mikrotilgad 1-12 |
| Tuumakütus 0,01-0,1 | Värv 0,1-6 | Lendtuhk 1-200 |
| Tahm 0,01-0,3 | Piimapulber 0,1-10 | Pestitsiid 5-10 |
| Vaik 0,01-1 | Bakterid 0,3-30 | Tsemenditolm 5-100 |
| Sigaretisuits 0,01-1 | Liivatolm 0,5-5 | Õietolm 10-15 |
| Silikoon 0,02-0,1 | Pestitsiid 0,5-10 | Inimese juuksed 50-120 |
| Kristalliseerunud sool 0,03-0,5 | Kontsentreeritud väävlitolm 1-11 | Mereliiv 100-1200 |
Postitusaeg: 14. juuni 2022