Kõrgpuhustusega gaasitorustiku tehnoloogia on oluline osa kõrge puhtusastmega gaasivarustussüsteemist, mis on peamine tehnoloogia vajaliku kõrge puhtusastmega gaasi tarnimiseks ja kvalifitseeritud kvaliteedi säilitamiseks; Kõrgpuhustusega gaasitorustiku tehnoloogia sisaldab süsteemi õiget disaini, liitmike ja lisaseadmete valimist, ehitust ja paigaldamist ning testimist. Viimastel aastatel on üha rangemad nõuded kõrge puhtusarja gaaside puhtuse ja lisandite sisalduse kohta mikroelektroonikatoodete tootmisel, mida esindavad suuremahulised integreeritud vooluringid, muutnud suure puhtusarja gaaside torustiku tehnoloogia üha enam ja rõhutatud. Järgnev on lühike ülevaade kõrge puhtusarjagaasi torustikust materjali valikustof ehitus, samuti aktsepteerimine ja igapäevane juhtimine.
Tavaliste gaaside tüübid
Tavaliste gaaside klassifitseerimine elektroonikatööstuses：
Ühised gaasid（Mahugaasiga gaas）: vesinik (h2), lämmastik (n2), hapnik (o2), argoon (a2) jne
Spetsiaalsed gaasidon Sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,Pocl3, SIH2Cl2 Sihcl3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,CLF3 ,Co,C2F6, N2o,F2,Hf,HBR SF6… ...
Spetsiaalsete gaaside tüüpe saab üldiselt liigitada söövitavaksgaas, mürginegaas, tuleohtlikgaas, põletavgaas, inertnegaasjne. Tavaliselt kasutatavad pooljuhtide gaasid klassifitseeritakse üldiselt järgmiselt.
i) söövitav / toksilinegaas: HCL, BF3, WF6, HBR, Sih2Cl2, NH3, PH3, Cl2, Bcl3… Jne.
(ii) Tuleohtlikkusgaas: H2, Ch4, SIH4, PH3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, CH2F2,Ch3F, co… jne.
(iii) põlevusgaas: O2, Cl2, N2O, nf3… Jne
iv) inertnegaas: N2, Vrd4, C2F6, C4F8,Sf6, CO2, NE, KR, ta… jne.
Paljud pooljuhtide gaasid on inimkehale kahjulikud. Eelkõige mõned neist gaasidest, näiteks SIH4 spontaanne põletamine, kui leke reageerib vägivaldselt õhus oleva hapnikuga ja hakkab põletama; ja tuhk3Väga toksiline, väike leke võib põhjustada inimelu riski, see on nende ilmsete ohtude tõttu, seega on süsteemi kujunduse ohutuse nõuded eriti kõrge.
Gaaside rakendus ulatus
Kaasaegse tööstuse oluliseks põhiline toorainena kasutatakse laialdaselt gaasitooteid ja metallurgias, terases, naftatööstuses, keemiatööstuses, masinates, elektroonika, klaasist, keraamikast, ehitusmaterjalidest, ehitusest, toidutöötlusest ja meditsiinisektoritest kasutatakse suurt hulka tavalisi gaase või spetsiaalseid gaase. Gaasi pealekandmisel on oluline mõju nende valdkondade kõrgtehnoloogiale ja on selle hädavajalik tooraine gaas või protsessgaas. Ainult mitmesuguste uute tööstussektorite vajaduste ja edendamise ning kaasaegse teaduse ja tehnoloogiaga saab gaasitööstuse tooteid välja töötada mitmekesisuse, kvaliteedi ja kvantiteedi osas hüppeliselt.
Gaasi kasutamine mikroelektroonikas ja pooljuhtide tööstuses
Gaasi kasutamine on alati olnud olulist rolli pooljuhtide protsessis, eriti pooljuhtide protsessi on laialdaselt kasutatud erinevates tööstusharudes, alates traditsioonilisest ULSI-st, TFT-LCD-st kuni praeguse mikroelektromehaanilise (MEMS) tööstuseni, mis kõik kasutavad nn semiksiitori protsessi kui toodete valmistamisprotsessit. Gaasi puhtus mõjutab otsustavat mõju komponentide ja toote saagikuse toimimisele ning gaasivarustuse ohutus on seotud personali tervise ja taimede ohutusega.
Kõrge puhtusarja torustiku olulisus kõrge puhtusarjaga gaasitranspordis
Roostevabast terasest sulamise ja materjali valmistamise protsessis võib tonni kohta imenduda umbes 200 g gaasi. Pärast roostevabast terase töötlemist ei imenda mitte ainult selle pind, vaid ka mitmesuguste saasteainetega, vaid ka metallvõres teatud koguse gaasi. Kui torujuhtme kaudu on õhuvool, neelab metall selle gaasi osa uuesti õhuvoolu, saastades puhta gaasi. Kui torus sisalduv õhuvool on katkendlik voog, adsorbeerib toru gaasi rõhu all ja kui õhuvool lakkab, moodustab toru poolt adsorbeeritud gaas rõhulanguse lahendamiseks ja eraldatud gaas siseneb ka torus olevasse puhast gaasi lisanditena. Samal ajal korratakse adsorptsiooni ja eraldusvõimet, nii et toru sisepinnal olev metall tekitaks ka teatud koguse pulbrit ja need metallist tolmuosakesed saastavad ka toru sees puhast gaasi. See toru omadus on hädavajalik, et tagada transporditud gaasi puhtus, mis nõuab mitte ainult toru sisepinna väga suurt sujuvust, vaid ka kõrge kulumiskindluse.
Kui kasutatakse tugeva söövitava jõudlusega gaasi, tuleb torustiku jaoks kasutada korrosioonikindlaid roostevabast terasest torusid. Vastasel juhul toodab toru korrosiooni tõttu sisepinnal korrosioonikohad ja tõsistel juhtudel on suur metalli eemaldamise või isegi perforatsiooni piirkond, mis saastab jaotuva puhta gaasi.
Suurte puhkeoleku ja puhastatud gaasi ülekande- ja jaotuskiiruste jaotustorude ühendamine.
Põhimõtteliselt on need kõik keevitatud ja kasutatud torud peavad keevitamise korral organisatsiooni muutusi. Liiga kõrge süsinikusisaldusega materjalid on keevitatud keevitud osade õhu läbilaskvusel, mis muudab gaaside vastastikuse tungimise torus ja väljaspool seda ning hävitab edastatud gaasi puhtuse, kuivuse ja puhtuse, mille tulemuseks on kõigi meie pingutuste kaotamine.
Kokkuvõtlikult võib kõrgpuhustusega gaasi ja spetsiaalse gaasi ülekandetorustiku jaoks kasutada kõrge puhtusarja roostevabast terasest toru erikohta, et valmistada kõrge puhtusarja torujuhtmesüsteemi (sealhulgas torud, liitmikud, klapid, VMB, VMP) kõrge puhtusastmega gaasijaotus.
Üldine kontseptsioon puhta tehnoloogia ülekande- ja levitamisjuhtmete jaoks
Väga puhas ja puhas gaasi korpuse ülekanne torustikuga tähendab, et gaasi kolme aspekti jaoks on teatud nõuded või kontrollid.
Gaasi puhtus: lisandite atmosfääri sisaldus GGAS -i puhtuses: Gaasi lisandite atmosfääri sisaldus, mida tavaliselt väljendatakse protsendina gaasi puhtusest, näiteks 99,9999%, väljendatuna ka lisaaine atmosfääri sisalduse mahu suhtena PPM, PPB, PPT.
Kuivusk: gaasi niiskuse kogus või niiskeks nimetatud kogus, mida tavaliselt väljendatakse kastepunktidena, näiteks atmosfäärirõhu kastepunkti -70. C.
Puhtus: gaasis sisalduvate saasteainete osakeste arv, osakeste suurus µM, mitu osakest/m3 ekspresseerimiseks suruõhu jaoks, tavaliselt väljendatakse ka seda, kui palju mg/m3 vältimatuid tahkeid jääke, mis hõlmab õli sisaldust.
Saasteainete suuruse klassifikatsioon: saasteainete osakesed viitavad peamiselt torujuhtme küürimisele, kulumisele, metalliosakeste tekitatud korrosioonile, atmosfääri tahmaosakestele, samuti mikroorganismidele, faagidele ja niiskust sisaldavatele gaasikondensatsioonitilkadele jne.
a) suured osakesed - osakeste suurus üle 5 μm
b) osake-materjali läbimõõt vahemikus 0,1 μm-5 μm
c) Ultra-mikroosakesed-osakeste suurus alla 0,1 μm.
Selle tehnoloogia rakendamise suurendamiseks, et osakeste suuruse ja μM ühikute mõistmiseks oleks võimalik osakeste spetsiifilisi seisundi komplekt viitamiseks
Järgnev on konkreetsete osakeste võrdlus
| Nimi /osakeste suurus (µm) | Nimi /osakeste suurus (µm) | Nimi/ osakeste suurus (µm) |
| Viirus 0,003-0,0 | Aerosool 0,03-1 | Aerosoolitud mikrodroplet 1-12 |
| Tuumakütus 0,01-0,1 | Värv 0,1-6 | Lendtuhk 1-200 |
| Süsinik must 0,01-0,3 | Piimapulber 0,1-10 | Pestitsiid 5-10 |
| Vaigu 0,01-1 | Bakterid 0,3-30 | Tsemenditolm 5-100 |
| Sigaretisuits 0,01-1 | Liivatolm 0,5-5 | Õietolm 10-15 |
| Silikoon 0,02-0,1 | Pestitsiid 0,5-10 | Inimese juuksed 50-120 |
| Kristalliseeritud sool 0,03-0,5 | Kontsentreeritud väävlitolm 1-11 | Mereliiva 100-1200 |
Postiaeg: 14. juuni 201222